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    形貌參數可控的微納探針批量制備裝置及方法

    853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:51
    本發明公開了一種形貌參數可控的微納探針批量制備裝置，機械裝置部分包括z軸電機模組、x軸電機模組、電解反應模塊、電解反應槽、清洗槽、絕緣處理槽、多通道微探針夾持模組；控制器包括微處理器、步進電機驅動器、步進電機細分驅動器、動態細分控制器、電解控制模塊、多通道DA轉換器、人機交互控制器。本發明兼顧了電機運動的速度和精度，能夠讓電機在長距離快速運動和短距離高精度移動；采用工序轉移模組和工藝平臺分立移動設計，單次能夠完成多根微納探針的制備；并提高了控制精度，具有高效、高成品率和易用性特點。本發明還設計了一種電壓預測控制算法，實現了對電化學腐蝕法制備微納探針中回路電流切斷時間的控制。
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