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    具有薄膜位置控制的拋光頭

    997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:51
    一種用于化學機械拋光的承載頭，包括外殼，所述外殼用于附接至驅動軸；薄膜組件，所述薄膜組件在外殼下方，其中介于外殼及薄膜組件之間的空間界定可加壓腔室；以及傳感器，所述傳感器在外殼中，配置成測量從傳感器至薄膜組件的距離。
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