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    具有高遷移率的非金屬共摻雜ZnO透明導電薄膜及其制備方法

    1229   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:51
    本發明公開了一種具有高遷移率的非金屬共摻雜ZnO透明導電薄膜，該薄膜為生長于柔性襯底上的ZnO基薄膜，其化學組成為Zn1-x-yAxByO，其中0< x≦0.50，0< y≦0.40, ?A為氟、氯、硫、硒中的一種，B為硼、氫中的一種，且A和B的原子比例滿足1< x : y≦10。制備該薄膜采用射頻磁控濺射法，通過結合氫等離子處理和真空熱退火的手段，從而制得導電性能良好的透明導電薄膜。本發明制備的薄膜結晶性能好，薄膜生長平整，光透過率在80%以上，電阻率可降至10-3數量級，方阻可達到81.9?？蓱迷谔柲茈姵厍半姌O、薄膜晶體管、紫外探測器、透明顯示屏等領域。
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