本發明公布了一種基于有序碳納米管薄膜的液體表面張力傳感器及其制備方法,屬于納米材料和應用的領域。特征是利用傳感器浸沒在液體中,毛細力作用使碳納米管薄膜微結構改變,引起其直流響應變化,實現液體表面張力的測量。傳感器制備工藝簡單,可控性良好。器件響應快,靈敏度高。器件構建主要包括:⑴利用微波等離子體化學氣相沉積法制備碳納米管陣列;⑵利用物理氣相沉積技術和掩膜覆蓋技術,在有機絕緣襯底表面制備金屬電極;⑶利用滾壓轉移技術,將碳納米管陣列轉移至已鍍電極的襯底表面,構建液體表面張力傳感器。本發明是利用有序碳納米管薄膜結構改變引起其電學信號變化構建的液體表面張力傳感器,拓展了一維納米材料的應用領域。
聲明:
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