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    c-取向排列ZnO: Al薄膜的制備方法

    1342   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:52
    一種c-取向排列ZnO : Al薄膜的制備方法，先驅體溶液的配制：按 Zn0.99Al0.01O化學式將硝酸鋅或乙酸鋅與硝酸鋁、乙酸鋁或氯化鋁溶入冰乙 酸中，然后再加入乙二醇和三乙醇胺，向溶液中加入冰乙酸后用鹽酸調節 溶液的pH＜5得到先驅體溶液；采用浸涂或旋涂工藝將先驅體溶液涂敷在 基片上；將涂膜后的基片在650-750℃的高溫爐中退火60min后自然冷卻 得到c-取向排列ZnO : Al薄膜。本發明應用溶膠-凝膠法基片上制備ZnO : Al薄膜，以大于200℃/min的速度快速升溫在650-750℃退火則得到高度 c-取向的長柱狀顆粒薄膜，柱狀的長度方向為晶體的c-軸方向且平行于基 片表面。透光測試表明后一種薄膜具有大的透光率和透光波長范圍。
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    化學分析
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