• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 利用等離子體增強原子層沉積可控制備不同氧含量的SiON薄膜的方法

    利用等離子體增強原子層沉積可控制備不同氧含量的SiON薄膜的方法

    942   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:55
    本發明公開了一種利用等離子體增強原子層沉積可控制備不同氧含量SiON薄膜的方法。本發明利用等離子體增強原子層沉積PEALD制備技術，通過使用前驅體四（二甲氨基）硅烷作為硅源，N2與O2等離子體作為氮源和氧源。將其同時通入反應腔體，通過調控N2與O2反應氣體的流量比，在基底上實現氧含量精確可控的高質量SiON薄膜生長。相比其他傳統的物理或化學鍍膜方法，本發明制備方法生長溫度低、簡易高效，不僅可以實現SiON薄膜中氧氮含量的精確調控，而且可以達到生長的薄膜厚度原子量級可控和大面積的均勻性。本發明制備的氧含量可調控的SiON薄膜在傳感器、光電探測、微電子器件等領域具有廣泛的應用前景。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “利用等離子體增強原子層沉積可控制備不同氧含量的SiON薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：摻雜磷鉬酸的鎳鋅電池正極材料制備方法
    下一個：三維多孔NiMn2O4的制備方法及在超級電容器正極材料中的應用

    與 “利用等離子體增強原子層沉積可控制備不同氧含量的SiON薄膜的方法” 相關技術

    ? 利用側吹爐處理銅陽極泥的工藝
    ? 處理高鎳銅精礦的冶煉工藝及裝置
    ? 氮摻雜樹脂碳材料、制備方法及其應用
    ? 防堵塞格柵清污機
    ? 污水處理池前置過濾清理裝置
    ? 回轉式格柵清污機驅動系統
    ? 反撈式格柵清污機
    ? 旋轉式格柵清污機
    ? 循環式齒耙格柵清污機
    ? 回轉式格柵清污機

    相關化學分析設備推薦

    混凝土鉆孔取芯機庫號：M206025
    固定式氧氣探測器華瑞SP-2104PLUS 多氣體檢測儀
    X射線光譜儀
    土壤水分溫度測定儀 土壤測試儀
    5000N.m電液伺服扭轉疲勞試驗機
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?利用側吹爐處理銅陽極泥的工藝
    ?處理高鎳銅精礦的冶煉工藝及裝置
    ?氮摻雜樹脂碳材料、制備方法及其應用
    ?防堵塞格柵清污機
    ?污水處理池前置過濾清理裝置
    ?回轉式格柵清污機驅動系統
    ?反撈式格柵清污機
    ?旋轉式格柵清污機
    ?循環式齒耙格柵清污機
    ?回轉式格柵清污機

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:140
    2 取、制樣安全淺析
    下載:132
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:97
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:96
    7 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:93
    8 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:91
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>