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    低成本三代像增強器半導體光電陰極濕法處理方法

    1211   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:59
    本發明涉及砷化鎵光電陰極制備方法技術領域，尤其涉及一種低成本三代像增強器半導體光電陰極濕法處理方法，采用調節腐蝕過程中的化學試劑配比和腐蝕溶液的溫度，控制腐蝕的速率，腐蝕均勻，可以解決襯底殘留，腐蝕不徹底的問題。同時，腐蝕速率分段控制，適當加快砷化鎵外延片濕法處理的效率，提高生產率速率，解決砷化鎵外延片襯底腐蝕不干凈、殘留、表面粗糙的問題。一種低成本三代像增強器半導體光電陰極濕法處理方法，S1、采用千分尺測量陰極組件襯底腐蝕前的高度h1，通過高度變化差，定量判斷襯底腐蝕結束時間；S2、采用超聲波清洗機，頻率40KHz，分別用異丙醇及去離子水對K9玻璃作為窗口玻璃的砷化鎵陰極組件進行除油、清潔。
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    聲明：
    “低成本三代像增強器半導體光電陰極濕法處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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