本發明公開了一種抗潮解摻鉈碘化銫薄膜及其制備方法,屬于閃爍體探測器技術領域。本發明首選采用真空熱蒸鍍法在襯底上鍍制摻鉈碘化銫薄膜,然后采用等離子體增強化學氣相沉積法在摻鉈碘化銫薄膜表面制備納米級別的二氧化硅薄膜,致密的二氧化硅薄膜能夠有效阻止空氣中水分子進入摻鉈碘化銫薄膜,能夠克服摻鉈碘化銫薄膜容易潮解的缺陷,避免了潮解對摻鉈碘化銫薄膜的光轉換效率和空間分辨率等性能指標的影響提高了薄膜的抗潮解能力和使用壽命。另外,本發明處理過程簡單,薄膜附著牢固,有利于實際生產應用。
聲明:
“抗潮解摻鉈碘化銫薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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