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    提升GaN基發光二極管內置歐姆接觸性能的方法

    951   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:59
    一種提升GaN基發光二極管內置歐姆接觸性能的方法，包括如下步驟：a)將在硅襯底上生長完畢的GaN外延片表面進行化學清洗；b)將蒸鍍反射鏡后的GaN外延片的正面圖形化并進行刻蝕；c)沉積一層二氧化硅；d)去除二氧化硅層；e)對N型GaN外延層外露的表面進行等離子體處理；f)形成N型歐姆接觸；g)將GaN外延片進行襯底剝離、鍵合、電極焊盤制作，并測試芯片的正向電壓?？捎行Х乐购罄m高溫鍵合對N型歐姆接觸產生不利影響而導致電壓升高的現象，有效改善鍵合后歐姆接觸性能降低、芯片電壓升高的現象，提高產品良率和器件的光電性能，提升器件光電參數和使用壽命。
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