• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > BCD工藝用超高溫條件下滑移線的外延控制方法

    BCD工藝用超高溫條件下滑移線的外延控制方法

    897   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:03
    本發明公開了一種BCD工藝用超高溫條件下滑移線的外延控制方法,包括步驟：(1)準備溫度控片；(2)反應腔升溫并進行HCL清潔；(3)冷卻至室溫，裝入溫度控片；(4)以恒定的升溫速率升溫至1150?1200℃進行烘烤；(5)取出溫度控片進行化學處理；(6)對溫度控片進行電阻率測試，獲得溫度控片各區域溫度并進行溫度補償；(7)清洗待外延的硅片并重復步(2)的操作后，將待外延的硅片放入反應腔；以步驟(4)中的升溫速率升溫至預設烘烤溫度并同步進行步驟(6)中的溫度補償，進行烘烤；調整反應腔溫度至生長溫度，通入SiHCl3、H2并摻雜，外延生長至目標厚度和目標電阻率。本發明能夠有效控制外延過程中硅片表面的溫度分布，更好控制滑移線的產生。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “BCD工藝用超高溫條件下滑移線的外延控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：用于電催化CO2還原的雙金屬催化材料的制備及應用
    下一個：鎳鈷錳硫化物@中空介孔碳球納米復合材料及其制備方法

    與 “BCD工藝用超高溫條件下滑移線的外延控制方法” 相關技術

    ? 槽式洗礦機密封裝置
    ? 風化殼型磁赤褐混合鐵礦石高效節能選礦工藝
    ? 礦山開采用滾筒洗礦機
    ? 低品位氧化錳礦的分選方法
    ? 礦石濃縮壓縮加工工藝
    ? 復鉚式強力洗礦機
    ? 實現多級篩分的雙籠洗礦機
    ? 圓筒洗礦機造漿裝置及其使用方法
    ? 鋰礦石開采用分選螺旋洗礦機
    ? 槽式洗礦機草根清理裝置

    相關化學分析設備推薦

    銅管屈服強度試驗機
    固定式有毒有害氣體探測器
    金屬鋼板疲勞試驗機
    多參數水質監測儀
    礦石分析儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?槽式洗礦機密封裝置
    ?風化殼型磁赤褐混合鐵礦石高效節能選礦工藝
    ?礦山開采用滾筒洗礦機
    ?低品位氧化錳礦的分選方法
    ?礦石濃縮壓縮加工工藝
    ?復鉚式強力洗礦機
    ?實現多級篩分的雙籠洗礦機
    ?圓筒洗礦機造漿裝置及其使用方法
    ?鋰礦石開采用分選螺旋洗礦機
    ?槽式洗礦機草根清理裝置

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:140
    2 取、制樣安全淺析
    下載:132
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:97
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:96
    7 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:93
    8 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:91
    10 制樣室裝修設計技巧
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>