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    多孔二氧化錫多層納米薄膜及其合成方法

    1001   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:03
    一種多孔二氧化錫(SnO2)多層納米薄膜及其合成方法，屬氣敏傳感材料和氣敏傳感制備的技術領域。該薄膜為多層依次沉積在單晶硅基底上的多孔二氧化錫納米薄膜，層數為6～12層。以金屬無機鹽SnCl2·2H2O和無水乙醇分別為前驅體和溶劑，經過制備用來制作二氧化錫納米薄膜的溶液、加入表面活性劑、制備溶膠、勻膠、退火和得成品六個步驟，將多層多孔二氧化錫納米薄膜依次沉積在單晶硅基底上，制得成品，多孔二氧化錫多層納米薄膜。所述的方法工藝簡單，能制得化學穩定性好、功耗小、比表面積大和氣敏靈敏度高的多孔二氧化錫多層納米薄膜。所述的薄膜適于用來制作測量微量氣體的氣敏傳感器。
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