本實用新型涉及一種半開式循環水回水集水箱,屬于化學氣相沉積爐技術領域,裝置包括集水箱主體,集水箱主體為倒置梯形結構,集水箱主體頂部連接有回水管路,回水管路的數量為至少兩個,回水管路一端連接至集水箱主體頂部,另一端連接至沉積爐各降溫點,集水箱主體底部連接有排水管道,排水管道用于將循環水排至冷卻降溫系統,排水管道端部設有過濾器,過濾器用于過濾掉自沉積爐內隨循環水排除的雜質。本申請結構能夠集中觀察循環水出水情況,并對回水進行一定過濾保證回水無污染,提高冷卻設備的壽命,同時監測循環水出水溫度、流量,出現異常自動報警并停止加熱,確保沉積爐冷卻效果良好,同時杜絕設備損壞情況。
聲明:
“半開式循環水回水集水箱” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)