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    環形光式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法

    1104   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:49
    本發明提供一種環形光式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法,屬于光學精密測量技術領域。點光源發出的光依次經過準直鏡、環形光發生器、分光棱鏡和物鏡,物鏡將激光匯聚至待測樣品,載有待測樣品信息的反射光和散射光依次經過物鏡和分光棱鏡,入射至探測互補光闌,反射光被探測互補光闌遮擋,散射光依次經過探測互補光闌、收集透鏡和探測針孔,最終入射至光電探測器,從而完成對亞表面的檢測。本發明采用環形光束照明,結合探測互補光闌實現暗場共焦,解決了普通共焦顯微技術檢測亞表面損傷信噪比低的問題,適用于亞表面無損檢測。
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