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    LED芯片無損陣列檢測裝置及方法

    995   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:49
    本發明提出一種LED芯片無損陣列檢測裝置及方法,帶有第一導電板的第一基板、帶有第二導電板的第二基板、光信號檢測系統、電信號檢測系統和供電系統;所述第一導電層包括微電極陣列、行電極、列電極,以及用于分隔行、列電極的絕緣層;所述行電極與微電極陣列相連,所述列電極在水平方向上靠近但不接觸微電極陣列;所述第二基板用于承載待測LED芯片;所述微電極陣列用于對應第二基板上表面的LED芯片陣列;所述第一基板在垂直方向靠近但不接觸待測LED芯片。其每次只檢測一顆LED芯片,可以同時完成對單顆LED芯片的電信號和光信號的采集,避免了傳統LED芯片檢測過程中,探針對LED芯片的損害,有利于提高檢測芯片使用可靠性,延長LED芯片實際使用壽命。
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