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    硅拋光片或外延片層錯及位錯缺陷的無損檢測裝置及方法

    1134   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:56
    本發明涉及硅片檢測技術領域，公開了硅拋光片或外延片層錯及位錯缺陷的無損檢測裝置，包括筒體，筒體通過三個隔板對稱設有三個放置區，且三個隔板呈均勻分布設置，三個隔板相背離一側的側壁均與筒體的內壁固定連接設置，筒體內壁的中心處固定連接有圓筒，且圓筒的側壁分別與三個隔板的側壁固定連接設置，圓筒內還設有放料機構，筒體的底部對稱固定連接有四個支撐腳，放料機構包括放置盒、套筒和活動桿，放置盒的底部開設有多個通孔，套筒位于圓筒內設置，圓筒的內壁對稱開設有三個凹槽。本發明能夠便于對硅片與各個溶液進行反應，同時提高了反應的效果，提高了工作效率，便于人們的使用。
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