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    無損銅后道可靠性測試工藝

    989   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:58
    本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種無損銅后道可靠性測試工藝。本發明一種無損銅后道可靠性測試工藝，通過在后道可靠性測試工藝中，采用常規的1/f噪聲系統收集噪聲數據信息，并根據該數據信息建立測試器件的可靠性壽命與1/f噪聲之間的函數關系，實現無損的后道可靠性評估，不僅降低了工藝成本還減小了測試周期，且在后續的后道工藝中，利用1/f噪聲系統采集器件噪聲信息數據，根據器件的可靠性壽命與1/f噪聲之間的函數關系，能較好的實現后道工藝可靠性的早期預警。
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    聲明：
    “無損銅后道可靠性測試工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    無損檢測
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