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    無損評價光學元件損傷性能的方法

    1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:00
    本發明公開了一種無損評價光學元件損傷性能的方法，連續激光器能發出連續激光，經第一能量調節器、第一透鏡、反射鏡、樣品正面后，照射到樣品背面，連續激光經樣品反射的反射方向上設有殘余激光收集器；脈沖激光器能發出脈沖激光，經第二能量調節器、縮束系統、劈板、第二透鏡后，照射到樣品背面。本發明通過對于待測光學元件相同的元件，進行多樣品、多位置的測試，獲得此類光學元件中，熒光缺陷數據與激光損傷閾值和損傷密度的關聯關系，從而對待測樣品進行測量時，通過測量其熒光缺陷數據，從而推算出損傷閾值和損傷密度。該方法可以通過無損檢測光學元件的熒光缺陷獲得光學元件的損傷性能水平，實現光學元件損傷性能的無損評價。
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    “無損評價光學元件損傷性能的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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