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    高反射率凹軸錐鏡的面形檢測系統及檢測方法

    1196   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:06
    一種高反射率凹軸錐鏡的面形檢測系統及檢測方法，檢測系統包括：移相干涉儀、平面標準鏡、工作臺和調整架，待測凹軸錐鏡固定在調整架上，其軸線與移相干涉儀的光軸平行且錐面朝向移相干涉儀的出光方向，調整架安裝在工作臺上，通過工作臺在待測凹軸錐鏡軸線方向上的定位掃描移動，以及移相干涉儀的測量光束在待測凹軸錐鏡錐面的兩次反射和平面標準鏡的反射，測量得到待測凹軸錐鏡上兩個不同徑向位置疊加的面形圖，并解出待測凹軸錐鏡各個不同徑向位置的環帶面形，最后得到待測凹軸錐鏡的面形。本發明具有結構簡單，適用性強，對測量件無損傷等優點。
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