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    基于表面波定向性檢測亞波長介質納米線形貌的檢測裝置

    951   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:06
    本發明公開了一種基于表面波定向性檢測亞波長介質納米線形貌的檢測裝置，包括：光源、偏振調制器件、亞波長介質納米線、介質基底、油鏡物鏡、偏振分離器件以及后焦面探測器；經過偏振調制器件調制的入射光與亞波長介質納米線相互作用后能在介質基底激發定向傳輸的表面波，如玻璃表面的衰逝場和多層介質膜基底表面的布洛赫表面波。表面波具有以橫向波矢大于k0在表面傳播的同時向基底泄露的特點，在基片下用高數值孔徑油鏡物鏡能收集到信號并在后焦面成像。偏振分離器件能更有效地將需要的偏振信號分離出來，減小背景噪聲的同時提取散射信號。本發明具有與光源功率穩定性無關、分辨率高、能夠多維信息提取和無損測量的優點。
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    “基于表面波定向性檢測亞波長介質納米線形貌的檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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