本發明實施例提供一種二維層狀材料異質結堆疊序列的檢測方法及光譜測量系統,該方法包括:采集待檢測異質結中單層層狀材料區域和異質結區域在不同轉動角度下分別對應的二次諧波光譜;提取二次諧波光譜中的單層層狀材料區域和異質結區域在不同轉動角度下分別對應的二次諧波信號峰值;根據二次諧波信號峰值獲取第一極坐標分布圖和第二極坐標分布圖;比對第一極坐標分布圖與第二極坐標分布圖中二次諧波信號強度的大小,獲得異質結的堆疊序列檢測結果。本發明實施例通過利用層狀材料堆疊為中心對稱結構時,二次諧波信號為零的特點,采用光學手段作為探針,降低了對異質結樣品的要求,無需將樣品轉移到目載網上,檢測方法簡便,實現快速無損檢驗。
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