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    大高寬比微結構的光學檢測方法

    940   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:07
    本發明公開了一種大高寬比微結構的光學檢測方法，通過觀察不同微結構對入射光的不同反射情況，無損檢測微結構的側壁形貌，快速地判斷大高寬比微結構是否發生傾斜、扭曲。本發明可以對光刻膠和金屬微結構的側壁形貌進行無損檢測，也可以對光刻膠與金屬共存的微結構側壁形貌進行無損檢測。本發明中采集的是高襯度的圖像，結合樣品工作臺的快速掃描，可以實現對大尺寸樣品的快速檢測。本發明可以對工藝過程中的樣品進行檢測，能夠實現樣品的原位工況檢測。本發明中側壁傾角檢測精度與選擇的物鏡相關，物鏡的放大倍數越高可以提供越高的側壁傾角檢測精度，通常的，可以實現0.1°的側壁傾角檢測精度。
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    聲明：
    “大高寬比微結構的光學檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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