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    位相型朗奇光柵槽深的光學檢測方法

    1139   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:07
    本發明位相型朗奇(Ronchi)光柵槽深的光學檢測方法。解決了對于周期遠大于其工作波長的位相型朗奇光柵槽深的精確檢測。本發明包括：1.利用光譜儀記錄工作光源的初始光譜曲線Is(λ)；2.工作光源的出射光正入射至位相型朗奇光柵表面；3.利用光譜儀記錄位相型朗奇光柵對工作光源的零級透射光的光譜曲線Ig(λ)；4.計算位相型朗奇光柵的零級光譜透射率；5.根據光柵零級光譜透射率η(λ)確定位相型朗奇光柵零級光譜透射率極小值ηmin對應的波長λmin；6.最后計算出位相型朗奇光柵的槽深。本發明方法適用于周期遠大于其工作波長的位相型朗奇光柵槽深檢測，其檢測原理簡單可靠，所需設備少，檢測成本較低，而且能夠快速、靈敏地實現朗奇光柵槽深的無損檢測。
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