本實用新型涉及氣體檢測領域,尤其是對多晶硅生產中尾氣的檢測,公開了一種氣體送樣裝置及氣體檢測系統,氣體送樣裝置包括進樣器和載氣管道,載氣管道包括形成載氣通道的管壁,管壁上開設有進樣口;進樣器設置于進樣口外側,進樣器包括筒體、設置于筒體的進氣管以及可滑動地設置于筒體內的活塞,筒體的壁面上開設有進氣口;進氣管或進樣口設置有啟閉裝置,啟閉裝置用于連通或隔斷進氣管與載氣管道。氣體送樣裝置的送樣過程簡單穩定,無夾雜無損失。氣體檢測系統包括了該氣體送樣裝置,氣體通過預處理系統處理后,定量地輸入至氣體送樣裝置中,無損失無夾雜地通過氣體送樣裝置全部送入檢測設備中,實驗準確,操作方便。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)