本發明屬于薄膜無損檢測技術領域,涉及一種基于表面波的薄膜粘附性檢測方法,包括:構建表征薄膜的粘附特性的彈簧假設模型,并建立表面波質點位移表達式;將建立表面波質點位移表達式代入的表面波在薄膜/基底結構中傳播的邊界條件,得到一個由6個方程組成的方程組B6×6C6×1=0;令系數矩陣B6×6的行列式為零,以KN和KT作為影響色散曲線的參量,得到表面波的色散曲線;在待測樣片表面激發表面波,在靠近其表面的兩個不同位置處采集其表面波信號,并進行分析處理,得到表面波的實驗色散曲線;將該曲線和前面得到的表面波色散曲線進行匹配,得到待測樣片表面的法向彈力系數KN;根據KN大小確定薄膜與基底之間的粘附性。本發明可以無損、快速、準確地檢測薄膜與基底之間粘附性。
聲明:
“基于表面波的薄膜粘附性檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)