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    原子層沉積系統原位實時檢測方法及裝置

    968   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:12
    本發明公開了一種原子層沉積系統原位實時檢測方法及裝置，所述方法包括：在對樣片進行原子層沉積成膜時，通過反射式高能電子衍射檢測所述樣片的表面，以獲得檢測數據；根據所述檢測數據，獲得所述樣片的原子層沉積反應機理信息。用以解決現有技術中的原子層沉積技術，其反應機理缺乏合適的原位檢測技術的技術問題。提供了一種無損的原子層沉積實時檢測方法及裝置。
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    聲明：
    “原子層沉積系統原位實時檢測方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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