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    大口徑光學元件光學特性的快速檢測方法及裝置

    955   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:12
    本發明公開了一種大口徑光學元件光學特性的快速檢測方法及裝置，首先將泵浦光束照射到被測樣品表面上的測量點1，由測量點1反射出來的泵浦光經能量回收反射鏡后再次照射到樣品表面上的測量點2，以此類推，泵浦光經能量回收反射鏡后多次與被測樣品表面相互作用，在被測樣品表面的測量點1到測量點N都引起了局部材料特性變化。這N個測量點的局部材料特性變化由探測光束進行并行探測。本發明利用泵浦光能量回收反射鏡對被測樣品反射出來的激光能量進行回收重復利用從而大幅度提高大口徑光學元件光學特性檢測速度，該方法和裝置可以用于光熱無損檢測、光熱精密測量、光學吸收光譜、光熱成像與缺陷分析等多個領域，特別適用于對大口徑激光反射鏡微弱吸收特性的快速檢測與成像。
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