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    大口徑光學元件表面缺陷的檢測分類裝置

    1180   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:12
    本實用新型公開了一種大口徑光學元件表面缺陷的檢測分類裝置，是利用一束強照明光束和一束弱照明光束照射大口徑光學元件，強照明光束與吸收缺陷相作用激發產生熒光，弱照明光束與非吸收缺陷相作用引起光束的散射，通過對熒光和散射光的分別檢測來獲得大口徑光學元件吸收缺陷和非吸收缺陷的信息。本實用新型中，采用內全反射式的照明方式，對大口徑光學元件內部多個區域同時進行照明檢測，提高了檢測效率。本實用新型在檢測端，采用焦深小的成像系統或利用共聚焦成像的方法，只對表面及亞表面缺陷進行檢測。本實用新型適用于光學無損探傷、光學精密檢測、光學顯微成像與缺陷分析、特別適用于強激光系統內的大口徑透明光學元件表面及亞表面缺陷檢測等多個領域。
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