本實用新型涉及產品檢測技術領域,具體地說是一種在線檢測硅片裝置,包括外殼、第一感應器、第二感應器、軌道轉換門、檢測頭、第一傳送軌道和第二傳送軌道,所述外殼設置于第一傳送軌道上,所述外殼上設有觀察門,所述檢測頭設置于外殼內側頂部中心位置,檢測頭正對的第一傳送軌道上設有第一感應器,所述第二傳送軌道設置于第一傳送軌道下方,且與第一傳送軌道連接處設有軌道轉換門,軌道轉換門上設有第二感應器。本實用新型可以對硅片的完好性進行無接觸、無損傷地檢測,將帶有裂紋的壞片自動分離出來。
聲明:
“在線檢測硅片裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)