本實用新型公開了一種大口徑光學元件光學特性的快速檢測裝置,包括泵浦光源,泵浦光能量回收反射鏡,泵浦光束吸收裝置,探測光源,順次設置于探測光源輸出端后的探測光束整形裝置和偏振分光鏡、設置于偏振分光鏡透射輸出端后四分之一波片,順次設置于偏振分光鏡反射輸出端后空間濾波器陣列、濾光片和光電探測器陣列。本實用新型利用泵浦光能量回收反射鏡對被測樣品反射出來的激光能量進行回收重復利用從而大幅度提高大口徑光學元件光學特性檢測速度,可以用于光熱無損檢測、光熱精密測量、光學吸收光譜、光熱成像與缺陷分析等多個領域,特別適用于對大口徑激光反射鏡微弱吸收特性的快速檢測與成像。
聲明:
“大口徑光學元件光學特性的快速檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)