本發明涉及一種融合散斑干涉和剪切散斑干涉的缺陷深度檢測方法,將散斑干涉與剪切散斑干涉相融合,全面定量表征結構內部缺陷,消除了剪切散斑干涉檢測缺陷深度的多類型誤差來源,如消除了剪切量對缺陷尺寸檢測不確定因素的影響,不需要考慮缺陷區域的邊界條件,避免了不確定邊界條件帶來的誤差,大幅度提高了缺陷深度的檢測精度,更加符合實際定量無損檢測應用的需求。
聲明:
“融合散斑干涉和剪切散斑干涉的缺陷深度檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)