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    使用激光誘導擊穿光譜技術快速檢測金屬熱擴散的方法

    895   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:16
    本發明涉及一種使用激光誘導擊穿光譜技術快速檢測金屬熱擴散的方法。本發明首先使激光聚焦在待測樣品表面，樣品表面被激光燒灼產生等離子體，并輻射攜帶元素成分信息的光子；然后利用光譜儀實時采集特征光子；同時選定金屬與硅的特征譜線，實時檢測其強度以計算出金屬的含量；最后隨著激光不停的燒灼，能得到不同深度的金屬含量信息，最終記錄下金屬的深度分布數據；本發明利用激光誘導擊穿光譜技術分析了鋁在硅晶片中的熱擴散，能分辨出不同溫度下鋁在硅中的深度分布的差異，得到了具有較高的精確度的結果。與其他檢測技術相比，該技術能快速、幾乎無損地檢測金屬的熱擴散。
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