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    半導體外延片的擊穿電壓檢測裝置

    805   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:18
    本實用新型提供了一種半導體外延片的擊穿電壓檢測裝置，屬于半導體技術領域。本實用新型的擊穿電壓檢測裝置包括交流電源、滑移機構、轉盤和探針，轉盤與交流電源負極連接，探針與交流電源正極連接，交流電源正極與探針之間設有示波器，探針固定在滑移機構上；滑移機構包括滑移桿和滑移座，滑移桿底端卡接在滑移座的凹槽內，滑移桿能夠沿滑移座凹槽移動，實現探針與P型層上表面在徑向上接觸；轉盤底端通過轉軸與固定座連接，轉盤以轉軸為圓心進行轉動，實現探針與P型層上表面在周向上接觸。本實用新型的檢測裝置能夠快速、直接、無損地檢測半導體外延片的擊穿電壓。
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