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    摻氟氧化錫鍍膜玻璃的光學參數檢測方法

    1092   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:18
    本發明公開一種摻氟氧化錫鍍膜玻璃的光學參數檢測方法，該方法利用橢圓偏振光譜儀測試摻氟氧化錫鍍膜玻璃的橢偏參數，建立梯度層與粗糙層雙層膜系結構模型及各層對應色散模型，梯度層的模型為隨著摻氟氧化錫鍍膜厚度的增加，從底層的介電材料漸變為頂層的透明導電材料。通過迭代回歸橢偏光譜，獲得摻氟氧化錫薄膜的結構及各層的光學參數。本發明僅采用橢偏光學測試手段便可測量非均質摻氟氧化錫薄膜結構和光學參數，對樣品無損傷、無接觸、測量耗時少，測試方法簡便、快捷，且對被測樣品表面無特殊要求，十分適合于在線低輻射節能鍍膜玻璃的性能在線檢測及監控。
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    聲明：
    “摻氟氧化錫鍍膜玻璃的光學參數檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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