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    光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測方法及裝置

    1051   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:22
    本發明公開了一種光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測方法及裝置，通過高度聚焦的泵浦激光照射樣品來激發樣品的紅外輻射，同時利用泵浦激光所激發的紅外輻射在特定波段對一些固體材料有一定穿透深度的物理特性來獲得固體材料表面及亞表面對泵浦激光的光學吸收特性。通過掃描樣品，該方法和裝置可以在樣品表面和亞表面區域內獲得微米到亞微米量級的橫向分辨率，適用于光熱無損探傷、光熱精密檢測、光熱顯微成像與缺陷分析、特別是用于強激光系統內的光學元件缺陷檢測等多個領域。
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    “光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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