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    非接觸式電光晶體通光面法線與Z軸偏離角測量裝置及其測量方法

    735   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:23
    一種電光晶體通光面法線與Z軸偏離角測量裝置及其測量方法,該裝置包括激光器、第一透鏡、空間濾波器、第二透鏡、起偏器、分光鏡、平面反射鏡、數字光電自準直儀、第三透鏡、第四透鏡、檢偏器、成像透鏡、探測器和計算機處理系統。實驗表明,本發明利用錐光干涉原理,實現了待測晶體待測面的非接觸式無損檢測,保障了測量過程中不引入待測晶體表面劃痕,并且適用于大口徑電光晶體檢測,另外本發明采用數字光電自準直儀標定檢測光束的光軸方向,保障了檢測光束垂直入射待測晶體,具有測量精度高,測量重復性好的優點,具有很大應用前景。
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