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    面內位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置

    806   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:24
    一種面內位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置。主要由連續波激光器、準直擴束器、偏振分束器Ⅰ、偏振分束器Ⅱ、偏振分束器Ⅲ、偏振分束器Ⅳ、反射鏡Ⅰ、反射鏡Ⅱ、反射鏡Ⅲ、會聚透鏡、CCD相機Ⅰ、CCD相機Ⅱ和計算機構成,本實用新型能一次布置光路,同時實現被測物體形變的面內位移和離面位移分布信息的測量,測量精度能達到亞波長量級;并且具有簡單易行、快速、準確的特點??蓮V泛應用于光電無損檢測等領域的微小位移的實時、高精度可靠測量。
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