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    內外腔表面粗糙度高精度測量光路結構及自動化測量系統

    736   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:26
    本發明公開了一種內外腔表面粗糙度高精度測量光路結構及自動化測量系統，該測量結構及自動化測量系統的關鍵部件為無損光路測量結構，主要包括集成光路和潛望鏡式轉折光路，集成光路包括白光光源、第一分束鏡和相機，第一分束鏡將一部分光出射至潛望鏡式轉折光路內，潛望鏡式轉折光路內設有若干平面反射鏡將分束鏡出射的光反射至潛望鏡式轉折光路的末端，潛望鏡式轉折光路的末端連接有Mirau干涉物鏡，用于將光束出射到待測的部件內外腔上；相機設置在分束鏡的反射光路上，部件內外腔表面反射的測量光與Mirau干涉物鏡中的參考光發生干涉，干涉圖像由相機拍攝獲取。本發明的無損光路測量結構，可以實現不同長徑比的部件內外腔的高精度測量。
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    “內外腔表面粗糙度高精度測量光路結構及自動化測量系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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