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    測量光學薄膜等效折射率及物理厚度的設備和方法

    891   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:27
    本發明書提供了一種通過測量多個角度反射譜 來同時獲得薄膜等效折射率和厚度的設備和方法。該設備簡 單，測量方便。該方法是根據入射光在空氣－薄膜－襯底的界 面處兩次反射會發生干涉，其干涉現象會從反射譜上表現出 來。因此只要測得兩個不同入射角θ1和θ2含有干涉信息的反射譜R(θ1，ω)和R(θ2，ω)，采用薄膜反射率公式同時擬合這兩個反射譜，得到相應的光程差Δ1和Δ2，根據折射定律，聯立兩個方程就可以得出薄膜的等效折射率n及物理厚度d。與傳統方法不同的是該方法可以同時、方便、無損地測出薄膜的等效折射率和厚度，甚至可以用于鍍膜過程的實時監控與在線檢測。
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