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    共聚焦顯微紅外調制光致發光譜實驗裝置及測試方法

    1083   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:28
    本發明公開一種共聚焦顯微紅外調制光致發光譜實驗裝置及測試方法。裝置包括泵浦激光及其方向穩控與準直模塊、反射物鏡激光聚焦與紅外信號收集模塊、低/變溫載物臺、亞微米級分辨的六維電控位移臺、準實時影像監測模塊、步進掃描邁克爾遜干涉儀、幅值調制與相敏檢測模塊以及計算機控制系統?；谏鲜鲅b置，本發明進一步提出實現覆蓋3?20微米寬波段的共聚焦顯微紅外調制光致發光光譜測試方法。本發明是一種檢測窄禁帶材料微區光學性質和電子能帶結構的光譜學成像測試裝置和方法，具有無損非接觸、長波長、寬波段、高空間分辨和高譜分辨能力等優點，非常適用于包括窄禁帶半導體等紅外光電子材料在內的微結構光學性質檢測和光電子顯微分析。
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    “共聚焦顯微紅外調制光致發光譜實驗裝置及測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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