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    基于電阻法的金屬薄膜厚度測量方法

    1096   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:30
    本發明提出一種基于電阻法的金屬薄膜厚度測量方法，所述測量方法包括取得待測工件金屬薄膜的電阻值數據曲線的方法；所述電阻值數據曲線為反映金屬薄膜電阻值與金屬薄膜厚度對應關系的電阻?厚度標準曲線；在測量金屬薄膜厚度時，根據待測金屬薄膜的電阻值，從電阻?厚度標準曲線得到與該電阻值對應的金屬薄膜厚度；本發明操作簡單，所能測量的厚度范圍廣，且本方法屬于非接觸式測量，不會對待測樣品造成損壞，屬于無損檢測技術。
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