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    基于馬赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系統及測量方法

    881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:31
    本發明公開了一種基于馬赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉測量系統及測量方法，其特征是：激光器的出射光經擴束后照射測量面；測量面漫反射的光經兩塊分光棱鏡后分成三束光；三束光分別通過反射鏡、光闌、成像透鏡和分光棱鏡后同時成像到CCD相機上；本發明載波頻率和剪切量獨立可調，能夠實現對被測物的缺陷進行多方向同步檢測，是一種無損、全場、高效的測量系統。
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    聲明：
    “基于馬赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系統及測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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