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    基于光學相干層析的全深式曲面輪廓測量裝置

    774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:32
    本實用新型涉及一種基于光學相干層析的全深式曲面輪廓測量裝置，包括：SLD光源、凸透鏡、第一柱透鏡、第一分光鏡、參考鏡、待測曲面輪廓件、第二柱透鏡、反射鏡、反射式光柵、柱透鏡和面陣CCD相機；所述SLD光源發出的點光源經過凸透鏡準直為平行光束；該平行光束通過第一柱透鏡聚焦為焦線光束，第一分光鏡將焦線光束分為強度相等的兩束光線，一束為參考光匯聚于參考鏡，一束為探測光匯聚于待測曲面輪廓件；兩束光線經反射后重合發生干涉，干涉光束經反射式光柵按波長在空間分光后由柱透鏡匯聚成干涉譜線，由面CCD相機采集獲得二維干涉光譜條紋。本實用新型可以實現對曲面輪廓的高精度、非接觸、無損傷的精密檢測。
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