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    實現薄膜厚度精確測量的裝置

    756   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:32
    本實用新型提出了一種實現薄膜厚度精確測量的裝置，包括邁克爾遜干涉儀、圖像傳感器CCD、數據采集模塊、硬件和驅動電路；邁克爾遜干涉儀用于產生干涉條紋，且邁克爾遜干涉儀上設有點光源；CCD用于記錄邁克爾遜干涉儀產生的干涉條紋，且CCD與數據采集模塊電性連接；數據采集模塊設有計數器，計數器用于對干涉條紋進行計數，且計數器將計數結果輸送至硬件；硬件與數據采集模塊電性連接，且硬件內設有數據處理及輸出模塊，且數據處理及輸出模塊將硬件內的信息進行處理并輸出；驅動電路與CCD電性連接。本實用新型具有快速、準確、無損傷和測量范圍大等優點，可應用于工業生產的在線檢測，在納米技術的基礎性研究中也有一定的應用價值。
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