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    > 應用于掃描探針顯微鏡的擺動式多模式組合探針測試裝置

    應用于掃描探針顯微鏡的擺動式多模式組合探針測試裝置

    1148   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:32
    本發明公開了應用于掃描探針顯微鏡的擺動式多模式組合探針測試裝置，包括腔體上蓋、組合探針切換機構和組合探針，利用該裝置在真空或氣氛環境下實現多模式組合探針原位高效切換時，首先將該裝置安裝在掃描探針顯微鏡上，設置真空或氣氛環境，然后組合探針切換機構擺動，驅動組合探針依次到目標位置，對樣品進行多模式原位測試，該裝置解決了現有掃描探針顯微鏡的不足，避免切換探針時破壞實驗環境，支持多模式原位測試，通過電磁測試模式測試或改變樣品表面電磁類物理量，通過輕敲模式無損測量樣品表面形貌，尤其適用于軟樣品，通過摩擦力模式測試樣品表面摩擦磨損，采用擺動式設計，減小裝置體積，節約腔體空間，增加裝置通用性。
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    “應用于掃描探針顯微鏡的擺動式多模式組合探針測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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