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    測量介質導體沉積界面微波表面電阻的裝置及方法

    1041   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:33
    本發明提供的一種測量介質導體沉積界面微波表面電阻的裝置及方法，屬于電子學領域，裝置包括測試座、校準組件、密封腔和支撐板，測試座包括底端面開放的屏蔽腔、介質柱、輸入耦合結構、輸出耦合結構和介質支撐裝置，待測介質導體樣品與測試座構成TE011模式的介質諧振器；分別將校準組件和待測導體樣品裝配在測試座上，測得對應品質因數，進而計算得到待測介質導體樣品的沉積界面微波表面電阻。本發明僅進行一次無損測量即可獲得介質導體沉積界面的微波表面電阻，解決因導體層趨膚深度限制而導致無法準確測試介質導體沉積界面微波表面電阻的問題，同時具有較高的測試效率，尤其適合大批量工業化的測試。
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