• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 無損檢測技術

    > 晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統

    晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統

    1193   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:33
    本發明公開一種晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統，采用上層控制系統和底層控制系統的兩級控制模式，兩層控制系統之間通過工業以太網實現物理連接。其中，底層控制系統利用可編程邏輯控制器PLC，負責直接控制化學機械拋光單元的在線測量模塊，并建立專用的存儲區臨時存儲測量模塊在工藝過程中采集到的數據。上層控制系統采用工控機IPC，通過底層控制系統監控在線測量模塊的運行，并利用OPC技術主動讀取底層存儲區中的數據，完成數據的處理，為工藝人員提供操作軟件?；诠に囆枨?，本發明的控制系統設置了標定和測量兩種模式，并可分組存儲多個標定表以消除不同工藝配方對測量結果的影響。本發明具有無損測試、操作簡單、便于維護、良好的可擴展性以及安全可靠的優點。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    無損檢測
    上一個：混凝土中GFRP筋的長期性能監測方法
    下一個：基于冠層多光譜的烤煙地上鮮生物量測定方法

    與 “晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統” 相關技術

    ? 磨粉機原料篩分結構
    ? 回轉式污水處理用磁分離設備
    ? 往復式刮吸泥機防出軌結構
    ? 具備反沖洗功能的玻璃鋼污水處理池
    ? 沉淀池用刮吸泥機
    ? 絮凝沉淀池疊加濾池構筑物
    ? 應急污水處理系統
    ? 防止泥屑積聚的吸泥裝置
    ? 基于中心傳動的管式吸泥機及其運行方法
    ? 移動吸泥機的簡易懸吊機構

    相關無損檢測設備推薦

    大氣質量環境檢測儀
    金屬材料測厚儀
    氣體探測儀
    50KN加高款雙柱拉力試驗機
    能量色散X射線熒光光譜儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?磨粉機原料篩分結構
    ?回轉式污水處理用磁分離設備
    ?往復式刮吸泥機防出軌結構
    ?具備反沖洗功能的玻璃鋼污水處理池
    ?沉淀池用刮吸泥機
    ?絮凝沉淀池疊加濾池構筑物
    ?應急污水處理系統
    ?防止泥屑積聚的吸泥裝置
    ?基于中心傳動的管式吸泥機及其運行方法
    ?移動吸泥機的簡易懸吊機構

    報名參會
    更多+

    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025年07月16日 ~ 18日
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025年07月16日 ~ 18日
    第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
    第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
    2025年07月18日 ~ 20日
    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    2025年07月23日 ~ 26日
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:91
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>