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    基于光波導的石墨烯納米帶陣列太赫茲傳感器

    1018   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:43
    本發明涉及一種太赫茲傳感器，更具體的說，本發明涉及一種基于光波導的石墨烯太赫茲傳感器:包括底柵極和低阻硅襯底以及設置于襯底上的下絕緣層、石墨烯納米帶陣列、源漏電極、上絕緣層、頂柵極、光波導結構、入射耦合光柵、出射耦合光柵和驅動電路；利用石墨烯材料具有高載流子遷移率、電子無散射傳輸、能隙可調的光電特性，采用石墨烯納米帶和p-i-n光電探測結構；利用光波導收集、傳輸、匯聚光的特性，設計了大面積光波導和石墨烯納米帶陣列的復合結構。本發明太赫茲傳感器具有光能利用率高、靈敏度高、響應快、可在室溫下工作、結構簡單、便于集成、體積小的優點，可廣泛應用于安檢、緝毒、反恐、醫學成像、無損檢測、電子對抗、雷達、遙感、外層空間寬帶通信等領域。
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    “基于光波導的石墨烯納米帶陣列太赫茲傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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