本實用新型公開了一種計量級3D超景深共焦顯微系統,涉及光電無損3D檢測技術領域;該顯微系統包括光學顯微鏡、光譜共焦傳感器、xyz軸電動位移平臺以及控制模塊和PC處理器;xyz軸電動位移平臺包括xy軸平移臺和z軸升降模塊,光學顯微鏡配置有照明光源和圖像采集單元,控制模塊包括xyz電動控制單元、與光譜共焦傳感器連接的光譜共焦處理器以及電源模塊,圖像采集單元用于采集目標檢測區域的圖像信息,并將圖像信息傳輸至PC處理器;通過實施本技術方案,能夠無損觀察樣品,并能夠超大面積對材料表面的微觀狀態進行拍照、3D真彩色成像及3D精準測量,實現計量級的檢測精度,并保有微觀樣品的細節與真實顏色,具有很好的應用前景。
聲明:
“計量級3D超景深共焦顯微系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)