本發明公開了一種現場用便攜式超景深3D顯微系統及其使用方法,涉及光電無損3D檢測設備技術領域;其包括顯微鏡頭、升降模組、XY平移臺和殼體,顯微鏡頭上配設有照明光源,且顯微鏡頭和升降模組均位于殼體內側,顯微鏡頭通過連接塊與升降模組連接,升降模組內設有用于驅動顯微鏡頭沿豎直方向移動的步進電機,XY平移臺上設置有支撐塊,升降模組固定在支撐塊上,以使顯微鏡頭隨著支撐塊沿觀察平面X方向及Y方向移動;通過實施本技術方案,可有效解決現有顯微鏡僅限于現場平面觀察樣品細微表觀質量,難以全面觀察微觀目標而作出定量分析的技術問題,可實現無損觀察樣品的同時現場觀察大型起伏物體細微缺陷表現情況,確定樣品缺陷等級,實用性好。
聲明:
“現場用便攜式超景深3D顯微系統及其使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)