本發明公開了一種高通量篩選軟磁材料磁導率的裝置及方法。所述高通量篩選軟磁材料磁導率的裝置包括:測試探頭,所述測試探頭包括諧振電路,所述諧振電路的諧振頻率和反射參數能夠被待測樣品影響而發生變化;矢量網絡分析儀,其與所述測試探頭電連接,并用于測量所述諧振電路的諧振頻率和反射參數;數據處理機構,其至少用于對接收的多組諧振頻率和反射參數進行處理,并獲得待測樣品的磁導率;三維移動平臺,其至少用于放置待測樣品,并以指定姿態將待測樣品移動至指定的測試位置,同時測量所述待測樣品與測試探頭之間的距離。本發明可以實現待測樣品的高通量實時測量,對于多個樣品可以實現連續、無損的快速檢測,且具有較高的分辨率與靈敏度。
聲明:
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